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精密加工是指加工精度为10～0.1微米、表面粗糙度在0.1微米以下的加工。常用的加工方法有金刚石车削、金刚石镗削、珩磨、研磨、超精加工、砂带磨削和镜面磨削等。

金刚石车削和金刚石镗削：

金刚石车削和金刚石镗削都是利用聚晶金刚石刀具进行切削。

珩磨：

珩磨是采用镶嵌在珩磨头上的油石（又称珩磨条）主要对孔进行精整加工。

研磨：

研磨是利用涂敷或压嵌在研具上的磨料颗粒，通过研具与工件在一定压力下的相对运动对加工表面进行的精整加工。

超精加工：

超精加工是采用装在振动头上的细粒度油石对精加工表面进行精整加工。

砂带磨削：

砂带磨削是采用高速运转的环形砂带加工工件表面的磨削。

镜面磨削：

镜面磨削是达到最佳表面粗糙度的磨削方法。磨削后的工件，表面粗糙度不大于0.01微米，光如镜面，可以清晰成像。